多晶硅是微電子行業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的“基石”，是信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)最基礎(chǔ)的原材料。一般電子級(jí)硅要求含Si>99.9999%，電子級(jí)多晶硅則要求達(dá)到9個(gè)“9”以上。作為戰(zhàn)略性原材料，電子級(jí)多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)和市場(chǎng)長(zhǎng)期由國(guó)外壟斷，制約我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)、新能源產(chǎn)業(yè)、新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
5月24日，國(guó)家電投黃河水電新能源分公司正式推出國(guó)產(chǎn)高純電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品——“黃河水電多晶硅”，實(shí)現(xiàn)了電子級(jí)多晶硅的“中國(guó)制造”，打破國(guó)外壟斷格局。
填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白
國(guó)內(nèi)首條電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線的出現(xiàn)，經(jīng)歷了近10年的時(shí)間。
據(jù)黃河公司新能源分公司總經(jīng)理劉剛介紹，“黃河水電多晶硅”的研發(fā)工作正式開(kāi)始于2006年，于2010年全面投產(chǎn)，形成的2500噸高純電子級(jí)多晶硅產(chǎn)能，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，目前國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率達(dá)10%。2015年，黃河水電多晶硅完成國(guó)家科技重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》（即“02專項(xiàng)”）全部技術(shù)指標(biāo)要求。
“黃河水電多晶硅”采用改良西門子法，年產(chǎn)達(dá)2500噸電子級(jí)多晶硅，實(shí)現(xiàn)完全閉路循環(huán)，節(jié)能低耗、安全環(huán)保，其氧含量<0.02ppma，碳含量<0.02ppma，受主雜質(zhì)<0.03ppba，施主雜質(zhì)<0.05ppba，基體總金屬雜質(zhì)<2ppbw，經(jīng)第三方權(quán)威檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)，產(chǎn)品質(zhì)量與德國(guó)、日本知名多晶硅質(zhì)量相當(dāng)。
“攻克電子級(jí)多晶硅的關(guān)鍵要素包括很多方面，對(duì)工藝、設(shè)備管道選型、儀表選型、潔凈室等級(jí)都有嚴(yán)格的要求，在施工及檢修時(shí)，需要按照最高潔凈等級(jí)規(guī)范，在原輔材料、中間產(chǎn)品、輔助氣體和介質(zhì)方面也要進(jìn)行完善的質(zhì)量體系控制。”劉剛補(bǔ)充，“每一個(gè)細(xì)小環(huán)節(jié)都需要長(zhǎng)期的實(shí)驗(yàn)積累有效的數(shù)據(jù)，從中找出制約質(zhì)量提升的因素。”
來(lái)自重慶的某下游企業(yè)負(fù)責(zé)人告訴記者：“設(shè)備可以階段性引入，但材料必須是連續(xù)性的，我們?cè)龅竭^(guò)某外國(guó)廠商的突然斷供，造成了很大損失。如果關(guān)鍵材料可以實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，我們可以減少很多后顧之憂。”
鄂公網(wǎng)安備 4201851244607號(hào) 
