真空衰減法密封儀也叫真空指數法密封儀，是一種用于測量微處理器封裝物中氣體的滲透率的測試儀。它通過改變空氣壓力，測量氣體在管內、容器內、空腔內擴散性能，從而評估封裝物的密封性。有一定容量的真空腔，在這個真空腔內，存儲了大量的壓縮空氣，然后使用活塞筒或杠桿來拉動真空閥，改變真空腔壓力，該真空腔內的氣體從壓力大的地方向壓力小的地方移動，這樣就形成了一個真空衰減的過程。通常情況下，當真空腔內的氣體溫度保持恒定，同時真空腔的壓力也保持恒定，也就可以正確的測量出氣體滲透率。

　　如何操作？

　　1.使用之前，首先要確保電源通斷，以及真空腔內的油氣已經排盡，并將真空腔放置水平，以減少氣體滲透的影響。

　　2.接著，依次打開電源和真空閥，使真空腔內壓力降低，直到達到預設的值，然后關閉真空閥。

　　3.將樣品放置在真空腔內，等待規定的時間，通常是十幾分鐘，以確保樣品有足夠的時間在真空環境中接受測試。

　　4.測試完成后，打開真空閥，快速讓真空腔內的壓力回復到正常，然后關閉電源和真空閥。

　　應該注意哪些？

　　1、外殼應全部打開，將被測件的相關參數設置好，如排氣孔、進氣孔大小、進氣壓力等。

　　2、在給儀器供電前，應先檢查儀表各參數，并且確保電源電壓穩定。

　　3、將儀器的真空泵連接上，打開真空泵，將真空腔內的空氣抽空。

　　4、在真空腔內調整壓力到預設值，使壓力保持穩定，然后將帶有被測物的密封件安裝入真空腔內，并緊固它們。

　　5、操作者要用手動調節閥來控制真空衰減儀，按照相關參數進行設置，以控制真空衰減儀的閥門氣流量，然后讓它衰減到所需的壓力值。

　　6、當被測物達到設定壓力時，真空衰減儀應停止衰減，通過測試被測物是否滿足所需的密封標準來檢查密封情況，如果不滿足要求則應重新調整真空衰減儀，直到滿足要求為止。

　　7、完成測試后，請及時關閉真空衰減儀的電源，并且及時將密封件及相關連接管路拆開，避免影響下一次測試。